六氟化硫断路器最重要的监测项目是含水量监测，如果忽视对它的监测，其可靠性将会受到影响，还会污染环境。因此，对运行中六氟化硫断路器的微水监测和检漏显得尤为重要。
一是六氟化硫气体新气水分不合格。造成新气不合格的原因有制气厂对新气检测不严格；运输过程中或存放环境不符合要求等。二是断路器充入六氟化硫气体时带进水分。三是绝缘件带入水分。厂家在装配前未对绝缘件进行干燥处理或干燥处理不合格。断路器在解体检修时，绝缘件暴露在空气中的时间过长而受潮。四是吸附剂带入的水分。吸附剂对六氟化硫气体水分和各种主要的分解物都具有较好的吸附能力，如果吸附剂活化处理时间短，没有彻底干燥，或安装时暴露在空气中时间过长而受潮，就可能带入部分水分。五是透过密封件渗入的水分。六是断路器的泄漏点渗入的水分。充气口、管路接头、法兰处渗漏、铝铸件砂孔等泄漏点是水分渗入断路器内部的通道，空气中的水蒸气可通过这些通道逐渐渗透到设备的内部。
防范微水超标的措施
运行中的六氟化硫断路器对于六氟化硫气体的微水量要求相当严格，因为它直接影响断路器的安全运行。降低运行中断路器的六氟化硫气体含水量，主要采取以下控制措施：
一要严把六氟化硫新气质量关。六氟化硫气瓶应放置在阴凉干燥、通风良好地方，防潮防晒，并不得有水分或油污粘在阀门上。未经检验合格的六氟化硫新气气瓶和已检验合格的气瓶应分别存放，以免误用。为了保证六氟化硫气体新气的质量和纯度，充入断路器之前应进行微水测试，指标值须达到质量标准才可以使用。
二要严把绝缘件的处理关。绝缘件出厂时，如果没有进行特殊密封包装，安装前又未做干燥处理，则绝缘件在运行中所释放的水分将在气体含水量中占有很大比重。因此，绝缘件干燥处理完毕后应立即进行密封包装，在安装现场未组装的绝缘件应存放在有氮气的容器中。
三要严把密封件的质量关。采用渗透率小的密封件，加强断路器密封面的加工与组装质量管理，保证密封良好。断路器的法兰面及动密封都用双密封圈密封，以加强密封效果，减少六氟化硫气体的漏气量，减少外界水分进入六氟化硫断路器中。
四要严把吸附剂的质量关。采用高效吸附剂，使用前进行活化处理，安装时尽量缩短暴露于空气中的时间，减少吸附剂自身带入的水分。
五要严把充气操作关。应在晴朗干燥天气充气，并严格按照有关规程和检修工艺操作。充气的管子必须用聚四氟乙烯管，管子内部干燥，无油无灰尘，充气前用新的六氟化硫气体进行冲洗。
六要严把六氟化硫气体检漏关。巡视运行中的断路器，当发现压力表在同一温度下前后2次读数的差值达到0.01至0.03兆帕时，应全面检漏，查出漏点。
七要严把六氟化硫气体微水量的监测关。设备安装完毕充气24小时后，应进行六氟化硫气体微水量测量；设备通电后每3个月测量1次，直至稳定，以后每1至3年检测1次微水量。对于微水量超过标准者，应进行干燥处理，确保设备稳定运行。